彈簧式測試探針通常包含了三個(gè)零部件。這些零部件必須如同微電子領(lǐng)域所要求的那樣精確制造而成。 

1、針頭部分

針頭主要起連接作用，并可以同各類針頭一起使用。并盡可能地在測試探針和測試點(diǎn)之間產(chǎn)生較小的接觸電阻以保證測試結(jié)果的真實(shí)性。作為針頭材料，主要采用的是鋼材和鈹銅，其分別經(jīng)過硬化處理，如果是非常鈍的針頭形狀，也可使用黃銅材料。 

2、彈簧部分

彈簧作為有效的零部件，即使在數(shù)十萬次搭接后（試驗(yàn)周 期）也能確保必須的接觸力。產(chǎn)品目錄中規(guī)定的額定彈簧力可在建議的工作行程下實(shí)現(xiàn)，但因結(jié)構(gòu)、制造公差和使用條件等因素的影響，會(huì)出現(xiàn)輕微波動(dòng)。

3、針套部分

針套對針頭和彈簧進(jìn)行支撐。測量信號傳輸至探針針套。為了優(yōu)化性能，除了對針套鍍金外，還可以涂覆一層較薄的有機(jī)保護(hù)層。探針針套用于維護(hù)測試治具時(shí)方便更換測試探針。可快速進(jìn)行更換，并且不需要進(jìn)行布線工作。為此，在側(cè)面設(shè)有卷邊位置。期間，需注意卷邊點(diǎn)只有在將套管裝入鉆孔后方可實(shí)現(xiàn)其較佳功能。也就是說一定要在針套裝入探針板后，才能裝入探針。